English
Espana Регулятор массового расхода газа S500
Требования: Чистота, сухость и отсутствие коррозии.
Тип газа: воздух, N2, O2, CO2, He, H2, CH4, Ar и т. д.
Полная шкала: (0~20, 50, 100, 200, 500) ст.см³, (0~1, 2, 5, 10, 20) ст.см³
Точность: 0,3%FS (≤30%FS), 1,0%SP (>30%FS)
Соотношение дальности: 100:1
Время отклика: ≤0,5 с
Точность повторения: ±0,2% от полной шкалы.
Контроллер массового расхода серии S500 — это высокопроизводительный цифровой контроллер массового расхода газа, разработанный для фотоэлектрической, полупроводниковой, вакуумно-напылительной и других отраслей промышленности.
В данном изделии используется разработанный компанией промышленный усовершенствованный датчик расхода, сочетающий в себе структуру газовой цепи с низкими потерями напряжения и высокоточную цифровую схему управления и алгоритм, что обеспечивает высокоточное, стабильное и широкодиапазонное управление в широком диапазоне температур.
